
- 移動量(X×Y×Z)
- 700 × 400 × 400 mm
- 主軸回転速度
- 10,000min-1(高加速主軸仕様)

- 移動量(X×Y×Z)
- 700 × 400 × 330 mm
- 主軸回転速度
- 10,000min-1

- 移動量(X,Y,Z)
- 600mm×530mm×510mm
- 主軸回転速度
- 10,000min-1

- 移動量(X,Y,Z)
- 635mm×510mm×410mm
- 主軸回転速度
- 8,000min-1

- 受入フォーマット
- DXF, IGES, STP, Solidworks, Parasolid

- 測定範囲
- 600mm×300mm×200mm
- 精度
- 繰り返し精度(ステージロック時)±3μm